产品特性
■结构紧凑,占地面积小
■良好的真空气密性,确保稳定的清洗效果
■平行式电极板方式,可以调整间距适应清洗工件的大小
■人性化操作界面,易操作及保养维护
■性能可靠,良好的互锁、故障报警和实时监控功能
■腔体后端安装有屏蔽系统,避免电磁辐射
■工艺选择性去除污染物
■可同时存储多组配方,调用即可
■全过程工艺可控,可在线设置、修改、监控各种工艺参数
产品特性
■结构紧凑,占地面积小
■良好的真空气密性,确保稳定的清洗效果
■平行式电极板方式,可以调整间距适应清洗工件的大小
■人性化操作界面,易操作及保养维护
■性能可靠,良好的互锁、故障报警和实时监控功能
■腔体后端安装有屏蔽系统,避免电磁辐射
■工艺选择性去除污染物
■可同时存储多组配方,调用即可
■全过程工艺可控,可在线设置、修改、监控各种工艺参数